




微型加速度计一问世,微型加速度计价格,就很快取代了液浮摆式加速度计,成为惯性导航和制导系统中不可缺少的关键器件。目前,石英挠性摆式加速度计已被广泛应用于各种线加速度、振动加速度的测量和速度、距离、角速度、角位移等参数测量。成功地用于微重力测量系统、惯性导航系统、岩土地基钻孔测量及石油钻井、连续测斜系统、航空运载、弹道、宇宙飞船等军民领域。
微型加速度计挠性的材料为温度性能好的石英玻璃,外形采用超声加工而成,挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法;也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料,但造价---。微型加速度计在结构上---磁极对顶固定,互为对方的反向磁片,在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时,由挠性材料及力矩线圈组成的敏感块相对平衡位置运动而产生惯性力fa或惯性力矩,然后通过换能器将此机械运动转换成电信号,再通过伺服放大器变成电流信号,电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力foc或反馈力矩moc,与输入加速度引起的惯性力fa或惯性力矩相平衡,直到再次恢复到平衡位置。通过分析石英挠性加速度计的温度误差机理,研究在不同温度条件下的静态输出特性.利用多次温度实验数据,采用更小二乘和多项式拟合的方法建立了石英挠性加速度计温度误差补偿模型.实验结果表明:温度误差补偿后,石英挠性加速度计在-20℃到50℃范围内刻度因子漂移量由10-4数量级提高到10-5数量级,零偏漂移量由800μg提高到52μg.
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